ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Металлические отпечатки из "Практика электронной микроскопии " Схема образования металлических отпечатков такая же, как и в случае кварцевых отпечатков, поскольку металлические отпечатки с известной степенью приближения можно считать равномерными по толщине во всех точках рельефа. Естественно, что справедливость этого предположения в значительной степени зависит от подвижности металла на поверхности образца. [c.58] Как известно, разрешающая способность зависит как от применяемого для получения отпечатка материала, в частности, от его рассеивающей способности, величины кристаллитов, так и от характеристик полученной тонкой пленки — ее толщины, плотности и пр. [c.58] Высказанное положение легко иллюстрируется следующим пример dim. [c.59] Одной из основных причин, ограничивающих разрешающую способность, получаемую на конечном изображении в электроннол микроскопе, является хроматическая аберрация [70]. [c.59] Из приведенного примера видно, что целесообразно для получения высокоразрещающих отпечатков использовать металлы с большим атомным весом, применяя по возможности более тонкие пленки. [c.59] Как показано в работе [60], оптимальная толщина неорганического отпечатка, необходимая для получения минимального контраста, соответствует плотности конденсата между 5 и 10 MKzj M , причем разрешающая способность отпечатка в этом случае равна половине его толщины. [c.59] Требованию бесструктурности различные металлы удовлетворяют в разной степени. Так, дифракционная картина тонкой пленки циркония представляет собой полностью размытое кольцо, пленки германия и хрома — более резкие кольца. Очень резкие дифракционные кольца дает алюминий [72]. Это свидетельствует о том, что кристаллиты циркония, германия и хрома коагулируют в меньшей степени, чем алюминия, вследствие чего у алюминия следует ожидать появления пониженной разрешающей способности по сравнению с перечисленными металлами. [c.59] Установлено также, что качество отпечатка зависит от теплоты сублимации чем выше теплота сублимации, тем выше качество отпечатка, тем выше его разрешающая способность. [c.59] Свойства некоторых металлов, пригодных для получения отпечатков, приведены в табл. 6. [c.60] Учитывая, кроме приведенных, и другие свойства, как-то механическую прочность тонких пленок, стойкость по отношению к электронной бомбардировке, а также то, насколько они удовлетворяют прочим перечисленным выше требованиям, для получения отпечатков в настоящее время можно рекомендовать платину, золото, хром, цирконий, германий, титан, реже — алюминий. Хорошие результаты дают также сплавы, как, например, сплав, состоящий из 40% алюминия и 60% бериллия, сплав из 50% золота с 50% марганца [49]. [c.60] Следует иметь в виду, что быстро увеличивать ток испарителя не реко.мендуется, поскольку это может вызвать растрескивание титановой стружки и ее разлетание, в результате чего фактически напыленный титан будет по весу значительно меньше учитываемого при расчете толщины пленки. Отделение титанового отпечатка от образца производится теми же способами, что и всех прочих напыляемых отпечатков. [c.61] Так же, как и в случае кварцевых отпечатков, толщина титановых (либо из других металлов) отпечатков может меняться различными способами. Наиболее целесообразно для получения пленки необходимой толщины точно отвешивать необходимую навеску титана при заданном расстоянии между образцом и испарителем. Однако иногда бывает удобно поступать наоборот, т. е. исходя из имеющейся навески изменять расстояние между образцов и испарителем для получения пленки необходимой толщины. [c.62] В табл. 7 приведена зависимость плотности получаемых пленок в мкг1см от навески испаряемого металла и расстояния между испарителем и образцом. Следует отметить, что приведенная таблица может быть использована для определения плотности пленок, получаемых напылением любых материалов. [c.62] Зная плотность полученной пленки, с помощью табл. 8 можно определить толщину ее для разных наиболее употребительных металлов. Толщина пленок приведена в ангстремах. Таблица допускает линейную интерполяцию по столбцам. [c.63] На фиг. IX представлена микрофотография поверхности электролитически травленного вольфрама, полученного с помощью титанового отпечатка. Как вр1дно из микрофотографии, титановый отпечаток обеспечивает высокий контраст получаемого изображения. [c.63] Вернуться к основной статье