ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Аналитические характеристики и сравнение методов из "Металловедение и термическая обработка стали Т1 " Основные аналитические характеристики методов ОЭС, ЭСХА и МСВИ приведены в табл. 7.1. [c.155] Метод ЭСХА особенно удобен, если требуется анализ поверхности без разрушения образца и сверх того нужна информация о химическом состоянии. Чувствительность метода в общем невелика (1—10 2%) при измерении в течение 2—3 мин и регистрации с помощью измерителя скорости счета и самописца. Применение многоканального анализатора и ЭВМ позволяет проводить измерения в течение многих часов — соответственно растет нижний предел обнаружения и чувствительность повышается на порядок. [c.155] Метод ОЭС обладает высокой чувствительностью (в среднем на 1—2 порядка выше ЭСХА при том же времени измерения), особенно для элементов с низким атомным номером и низкой энергией Оже-электронов, что повышает скорость анализа. Важна возможность объединения Оже-спектрометра й растрового электронного микроскопа для получения информации о химическом составе и микротопографии поверхности. [c.155] Наибольшие трудности при количественном анализе методом ОЭС вызывает нарушение линейной связи между интенсивностью Оже-пиков и количеством анализируемых атомов в приповерхностном слое. Необходимо вводить коэффициенты обратного рассеяния для учета Оже-эффекта под действием рассеянных электронов, вторичных электронов и т. д. Метод ОЭС пригоден для количественного анализа монослоев и в меньшей степени — для анализа слоев большей толщины. [c.155] Чувствительность метода МСВИ очень сильно колеблется в зависимости от природы анализируемого элемента и условий опыта (на шесть порядков). В первом приближении за меру чувствительности можно принять потенциал ионизации чем он ниже, тем легче обнаруживается примесь. В этом случае чувствительность достигает 10- и даже 10- . Щелочные металлы обнаруживаются очень легко и встречаются в каждом спектре. [c.155] На интенсивность спектра вторичных ионов сильно влияет матрица даже незначительные загрязнения поверхности металла кислородом, хлором, фтором уменьшают интенсивность сигнала вторичных ионов на несколько порядков. Частично влияние матрицы ослабляют, предварительно насыщая поверхность кислородом или применяя ионы кислорода в качестве первичных, — это стабилизирует эмиссию вторичных ионов. [c.155] Возможность обнаружения элементов. ... [c.155] Возможность изотопного анализа. [c.155] Во многих исследованиях, связанных с анализом поверхностей, использование того или иного метода определяется уже характером возникшей проблемы и типом информации, которую необходимо получить. Объединение в одном приборе нескольких различных методов, расширяющее возможности исследования, — главная тенденция современных методов анализа. [c.156] Вернуться к основной статье