ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Разделение ИС на отдельные элементы путем скрай-бирования на установках с ИАГ-лазером . Ширина линии скрайбирования в первом случае равна 80 мкм, во втором — 20 мкм при глубине скрайбирования [Выходные данные]