Экспериментальная и расчетная зависимости удельного сопротивления поликремниевого слоя от концентрации фосфора. В скобках указаны размеры кристаллитов и доля сегрегированного фосфора. Математическая модель учитывает эффекты роста кристаллитов, а также сегрегацию на границах кристаллитов и на границе раздела