Локально окисленная тестовая структура, иллюстрирующая двумерные эффекты при окислении и диффузии. Белые области - распределение бора после окисления. Для узких щелей в 813 N4 эффект боковой ДУО вызывает диффузию бора под полоски, покрытые N4