ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Температура кристалла кремния во фторсодержащей плазме ВЧ-разряда в смеси СР4 10 О2 при давлении 40 Па. Вкладываемая мощность 280 Вт. Доля открытой поверхности [Выходные данные]