Интерферограмма при одновременном нагревании и травлении монокристалла кремния в плазме 8Рб при давлении 20 Па и вкладываемой мощности 300 Вт. Стрелка указывает обращение фазы интерферограммы. В точке инверсии фазы скорость нагревания дв д1 0,14 К с, скорость травления 9 г 9 4 нм с