Схемы установок ионной имплантации а — установка малых и средних доз 6 — установка с разделением по массам после ускорения в—сильноточная установка г - высокоэнергетическая установка t — установка больших доз с источником, находящимся под высоким потенциалом -ионный источник 2—система вытягивания и первичного формирования пучка 3 масс-сепаратор 4 — высоковольтный модуль 5—регулируемая диафрагма 6 — система ускорения 7- фокусирующая линза 8 — пластины сканирования пучка 9—приемная камера