ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Понятие линзы ic переменной осью было впервые представлено в виде подвижной объективной линзы [380], распределение осевой индукции которой выбиралось так, чтобы фокусирующие элементы были как бы сдвинуты вбок, как если бы оптическая ось была смещена Такое расположение может привести к исчезновению некоторых аберраций отклонения, но его очень трудно реализовать Однако идея подвижной объективной линзы была применена на практике в модифицированном виде оптической оси с электронным сдвигом, синхронизированной с отклоняющим пучком Было продемонстрировано, что результирующая линза с переменной осью имеет желаемые свойства для литографических систем, электронный пучок которых упра1вляется сильным полем [381] [Выходные данные]