ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Настройка теплового режима установки осуществляется при заполнении ее аргоном, после чего следует вакуумирование и заполнение рабочим газом до давления около 1 ат. Длительность выдержки при установленных параметрах процесса определяется заданной толщиной диффузионного покрытия. [Выходные данные]