ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Ана 1шз представленного фрагмента позволяет говорить о высокой воспроизводимости линейных размеров микрорельефа решетки. Отсутствие волнообразований на поверхности дна рельефа соответствует высокому качеству и правильно подобранным режимам травления. [Выходные данные]