ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы При любом механизме участия подложки в процессе осаждения непрерывность процесса зависит от взаимной диффузии в паре подложка—покрытие. Так как в твердых телах диффузия значительно медленнее газофазной массопередачи, параметры ее (концентрация, скорость, характер газового потока) при взаимной диффузии практически не влияют на равномерность покрытий. Поэтому в условиях, делающих возможной твердофазную диффузию, можно наносить более равномерные покрытия на изделия больших размеров и сложной конфигурации, но скорость осаждения будет ниже, чем в случае чисто газофазного переноса. [Выходные данные]