ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы В шлюзовых системах закрытого типа каждая камера изолируется от соседних вакуумно-плотными затворами и имеет свою собственную откачную систему. Затвор между соседними камерами открывается только при достижении равенства давлений в них. Простейшая установка со шлюзами закрытого типа состоит из трех камер: входной, рабочей и выходной (рис. 106). Одну или несколько подложек загружают во входную камеру, 224 [Выходные данные]