ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Столь высокие значения достигаются у первых за счёт существенного усложнения оптич. системы, у вторых за счёт сравнительно малых угл. поле11 и числовой Оптическая схема О. для фотолитографии [Выходные данные]