ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы 1 — впуск аргона; 2 — образец; 3 — окно для наблюдения; 4 — передвижные датчики для измерения ионного тока; 5 — вакуумные насосы; ф — угол падения ионного пучка. [Выходные данные]