Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...

Статьи Чертежи Таблицы О сайте Реклама

[<< Стр.]    [Стр. >>]

Совр. способы изготовления ОДР — нарезка на металле (алюминий, золото) алмазным резцом на станке с управлением от ЭВМ (макс, частота 3600 штрихов на мм; возможно получение профиля штриха с малым углом наклона при ограничениях на форму подложки), а также голография, методы с использованием УФ-ла-зеров и синхротронного излучения (макс, частота — до неск. десятков тысяч штрихов на мм). Для достижения оптим. профиля штрихов — треугольного или прямоугольного — и переноса голография, рисунка решётки на более гладкую подложку применяют ионное травление. Для полученных таким способом кварцевых ОДР с прямоуг. штрихом КВ-гравица составляет ок. 0,5 нм. С помощью рентгеновской литографии изготовляют рентгеновские ОДР с многослойным покрытием, к-рые могут работать с высокой эффективностью при больших о вплоть до нормального падения, однако их область дисперсии ограничена спектральной шириной максимума отражения покрытия.

[<< Стр.]    [Стр. >>]

ПОИСК



Совр. способы изготовления ОДР — нарезка на металле (алюминий, золото) алмазным резцом на станке с управлением от ЭВМ (макс, частота 3600 штрихов на мм; возможно получение профиля штриха с малым углом наклона при ограничениях на форму подложки), а также голография, методы с использованием УФ-ла-зеров и синхротронного излучения (макс, частота — до неск. десятков тысяч штрихов на мм). Для достижения оптим. профиля штрихов — треугольного или прямоугольного — и переноса голография, рисунка решётки на более гладкую подложку применяют ионное травление. Для полученных таким способом кварцевых ОДР с прямоуг. штрихом КВ-гравица составляет ок. 0,5 нм. С помощью рентгеновской литографии изготовляют рентгеновские ОДР с многослойным покрытием, к-рые могут работать с высокой эффективностью при больших о вплоть до нормального падения, однако их область дисперсии ограничена спектральной шириной максимума отражения покрытия.

[Выходные данные]

© 2025 Mash-xxl.info Реклама на сайте