ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Вакуумный агрегат и источник питания расположены вне камеры. Вакуумный агрегат может обеспечивать вакуум до 10 ®лгл рт. ст. Имеется приспособление для впуска аргона непосредственно в трубку и поддержания в процессе травления непрерывного потока аргона при низких давлениях порядка 10 —10" лш рт. ст. Источник питания может давать напряжение до 5000 в при токе 30 ма. [Выходные данные]