ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы На первом листе конструкторской документации помещают главный вид —чертеж совмещенной топологии (рис. 8.51), изображающий подложку (кристалл) с координатной сеткой, со всеми нанесенными на нее слоями пленочных элементов и электрическими связями. Излагаются технические требования, приводятся типовая структура, обозначения и таблица характеристик слоев. Шаг координатной сетки выбирают из ряда, мм: 0,001; 0,005; 0,01; 0,025; 0,05; 0,1; 0,2. На чертеже совмещенной топологии также размещают фшуры совмещения, структура которых показана на рис. 8.52, и сложный ступенчатый разрез через различные элементы и компоненты микросхем. Положение секущей плоскости при этом не обозначается. Масштаб толщины слоев допускается не вьщерживать. Основные данные слоев указывают в таблице на поле чертежа (см. рис. 8.51). Схема построения границ 200 [Выходные данные]