ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Накопление дефектов на поверхности роста кристаллов и огрубление ее создают условия для преимущественного роста тех кристаллов, поверхности которых расположены перпендикулярно направлению подачи материала. Кроме того, такой преимущественный рост сопровождается и преимущественным накоплением дефектов в таким образом расположенных кристаллах, что повышает коэффициент аккомодации частиц материала покрытия. Увеличение коэффициента аккомодации создает дополнительные преимущества в скорости роста кристаллов. В результате скорость роста покрытия зависит от времени, причем так, что она увеличивается с увеличением времени осаждения при постоянной скорости подачи материала покрытия. Особенно заметно этот эффект проявляется при высоких температурах, когДа слоевой рост на начальных стадиях роста играет существенную роль. [Выходные данные]