ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Рис. 3.11. Усы нитрида кремния, покрытые слоем никеля толщиной 20 нм после отжига в вакууме при 900 °С в течение 50 мин (а) и после отжига в атмосфере, содержащей аргон при 1100°С, за 17 ч (б). [Выходные данные]