ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Шероховатость поверхности. Для серийно выпускаемых кристаллов кремния КЭФ-4.5 с ориентацией поверхности /100/ проведено изучение контраста интерференции в зависимости от диаметра пучка. Одна из поверхностей каждого кристалла отполирована, высота микрорельефа Кг 0,05 мкм. По свойствам тыльной поверхности образцы делятся на два типа: I) тыльная поверхность отполирована более грубо, чем лицевая, и характеризуется высотой микрорельефа 0,1 мкм; 11) тыльная поверхность шероховатая, средняя высота рельефа составляет 14-2 мкм, шероховатость упорядочена по форме и размеру микрограней, по их ориентации относительно кристаллографических направлений и наклону микрограней к базовой плоскости [6.29]. Для получения статистики контраста на каждом образце зондировали ряд точек, расположенных вдоль произвольно выбранной линии на расстоянии 0,5 мм (для ?) = 0,1 и 0,3 мм), 1 мм (для О = мм) и 2 мм (для [Выходные данные]