ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Методы жидкофазной эпитаксии основаны на кристаллизации из растворов в расплаве. Процесс эпитаксии из жидкой фазы можно разделить на два этапа. На первом этапе создается гетерогенная система жидкость-твердое тело нагревом подложки и расплавляемого вещества до заданной температуры. В качестве расплавляемого вещества могут использоваться мате;риалы, являющиеся донорными или акцепторными примесями в полупроводнике, либо их сплавы, а также металлы-растворители, применяющиеся для снижения температуры кристаллизации. На втором этапе система постепенно охлаждается до температуры окружающей среды. При этом из раствора-расплава на подложке нарастает твердая полупроводниковая фаза, обогащенная легирующими примесями. [Выходные данные]