ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы В м а г н и т о р а 3 р я д н ы X В. н. рабочим элементом явл. газоразрядная ячейка — ячейка Пеннинга, состоящая из «ячеистого» анода (рис. И), расположенного между катодными пластинами, покрытыми Т1. Ячейка помещена в магн. поле г ЭОО—3000 Гс, перпендикулярное плоскости катодов. При подаче на электроды высокого напряжения (от 3 до 7 кВ) между ними зажигается разряд, эл-ны движутся по сложным спиралям, что увеличивает вероятность ионизации в высоком вакууме 10- мм рт. ст.). Ускоренные электрич. полем ионы бомбардируют катоды, вызывая катодное распыление; при этом часть ионов внедряется в катоды, а часть — нейтрализуется и, обладая достаточной энергией, отражается от поверхности катода, попадает на анод и «замуровывается» распыляемым материалом катодов. Активные газы откачиваются сорбционным и ионным способами, инертные — ионным, причём часть их «замуровывается» на аноде. Величина разрядного тока в этих насосах пропорц. давлению, 5 зависит от числа ячеек (каждую ячейку можно рас- [Выходные данные]