ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Формирование пленки ведется посредством распыления мишени необходимого состава интенсивным пучком низко-энергетических ионов (?¦% 1,6 • 10 ® Дж). Для формирования этого пучка используется источник газовых ионов Кауфмана. Генерация ионов в источнике Кауфмана осуществляется в ионизирующих соударениях электронов, испускаемых вольфрамовой нитью с атомами или молекулами реакционного газа. В камере источника создается комбинированное магнитное поле, благодаря которому электроны движутся по сложной циклоидальной траектории, а число, ионизирующих столкновений, приходящихся на один электрон, возрастает. Ионы вытягиваются из разрядной камеры многоаппертурной диафрагмой. Наличие специальных сеток в системе откачки позволяет обеспечить разницу давлений, т. е. более высокое давление в ионизационной камере, чтобы получить стабильный разряд, и более низкое — в камере мишени, чтобы обеспечить достаточно большую длину свободного пути ионов. [Выходные данные]