ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы 1072, T. 15, Mi 7, p. 21; A p и c T о в В. В. и др.. Перспективы использования мягкого рентгеновского излучения в субмикронной литографии, «Поверхность. Физика, химия, механика», [Выходные данные]