ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы В настоящее время интерференционные методы исследования тонких пленок, в том числе и многолучевой интерференционный метод, достаточно полно систематизированы и освещены в ряде работ [28, 98, 138]. Поэтому остановимся лишь на некоторых вопросах, связанных с методами измерений параметров тонких пленок. [Выходные данные]