ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Оптические методы — одни из самых распространенных. Наиболее известные среди них реализованы на лазерных профилографах, приборах светового сечения и интерферометрах разных типов. Несмотря на высокое разрешение некоторых из этих методов по высоте (до 0,1 нм), их практическое использование сталкивается с трудностями, связанными с тем, что разрешение в плоскости исследования ограничено длиной волны используемого излучения (около 2000 нм). Несопоставимость горизонтального и вертикального размещений и необходимость хорошей отражающей способности у изучаемых объектов приводит к тому, что данные методы находят ограниченное применение — при исследовании оптических поверхностей, измерении дефектов типа ступенек и т. д. [Выходные данные]