ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Для вычисления сферической аберрации в случае конечного увеличения существует пять коэффициентов, представленных в табличной форме вместе с графиками MCso от М для различных отношений напряжений [44]. Находим, что теперь минимальное значение (|AI|Cso//?)min = 14 при М»—2 для (Уз— —Uo)l{Vi—Uo)=5 и (Уа—i/o)/(yi-i/o)=—0,1. Это в семь раз лучше, чем для однопотенциальной линзы с тем же отношением потенциалов изображения и объекта. Для линзы с/? = 1 см это означает, что минимальные радиусы пятен в плоскости изображения равны 18 и 0,14 нм при половинном угле аксептанса 5 и 1 мрад соответственно. [Выходные данные]