ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Контролируемая пластина располагается на трех сферических опорах параллельно эталонной грани с зазором 0,2—0,5 мм. Особенностью прибора является возможность контроля тонких прозрачных пластин, а также ]нлнфованных пластин за счет малых углов падения лучей на объект контроля. Точность измерения (цена одной интерференционной полосы) — 1 мкы для излучения с длиной волны 1 = = 0,63 мкм. Размер контролируемой пластины — до 100X100 мм . Контрастное изображение нн1ерферограмм наблюдается на телевизионном мониторе, причем может быть применена система его автоматической обработки на микроЭВМ. Пластина может располагаться вертикально для исключения влияния прогиба. [Выходные данные]