ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Причиной возникновения параболического дефекта является несовершенство технологии полировки подложки или, что случается реже, несовершенство технологии напыления зеркал. Возможно появление дефектов в процессе эксплуатации прибора за счет механических воздействий, например при пьезосканировании интерферометра или его юстировке. Устранение параболического дефекта, как и других дефектов поверхности зеркал, после их изготовления довольно затруднительно. В работе [14] компенсация дефектов подложки проводилась путем напыления диэлектрических покрытий, толщина которых изменялась по радиусу зеркала. [Выходные данные]