ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы кремний на глубину 2Ъ мк требуется около 15 час. Однако при таком медленном процессе глубина проникновения примеси может очень точно контролироваться; кроме того, можно получать исключительно тонкие диффузионные слои толщиной от 10 ммк. [Выходные данные]