ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Рабочий цикл изготовления партии подложек начинается с их закрепления при поднятом колпаке камеры. Затем следует опускание колпака специальным механизмом (на схеме не нумерован) и герметизация камеры, после чего начинается откачка камеры. При достижении заданной степени вакуума включается ионная пушка и начинается процесс напыления. После того как получена необходимая толщина пленки, происходит переключение карусели с лодочками распыляемого вещества и начинается напыление очередного слоя. [Выходные данные]