ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Интерферометры, предназначенные для измерения высоты мик-ронеровностей или следов обработки па металлических или других поверхностях высоких классов чистоты, называют микроинтерферометрами. Как и при контроле плоскостности, измерение высоты микронеровностей осуществляют по искривлению полос равной толщины. Но оптический прибор, предназначенный для наблюдения мелких неровностей, должен обладать большим увеличением и высокой разрешающей способностью. Поэтому микроинтерферометры представляют собой сочетание интерферометра типа Майкельсона (реже Физо) и микроскопа. [Выходные данные]