ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Из (2.1) следует, что с повышением температуры время жизни адсорбированных атомов резко падает и выше некоторой критической, температуры Ткр, зависящей от природы пленки и подложки, может оказаться столь малым, что рост пленки прекратится. При этом высокую скорость испарения могут приобрести атомы самой подложки и загрязнений, находящихся на ее поверхности. Это используется для очистки подложки перед осаждением пленки. [Выходные данные]