ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Существует целый ряд методов получения эпитаксиальных монокристаллических пленок, из которого принято выделять следующие группы: 1) осаждение из жидких растворов (жидкостная эпитаксия); 2) конденсация из газовой фазы (газовая эпитаксия); 3) конденсация из паровой фазы. [Выходные данные]