ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы WCU [198] при температуре подложки 1500° С, суммарном давлении в аппарате 3 мм рт. ст., скорости подачи хлора 5 и водорода 16 л/ч. Суммарная толщина вольфрамового покрытия на молибденовых эмиттерах (катодах) должна быть не менее 100 мкм. Такая толщина покрытия достаточна, чтобы предотвратить диффузию молибдена из матрицы через покрытие при эксплуатации ТЭП. При меньших толщинах покрытия атомы молибдена диффундируют через покрытие и при концентрации их на поверхности вольфрамового покрытия более 5% сильно снижают работу выхода электронов [19]. [Выходные данные]