ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Таким образом, при создании многослойных рентгенооптических элементов чрезвычайно важным является вопрос о контроле качества поверхности подложек. Отметим, что современная технология позволяет получать сверхгладкие поверхности с высотой шероховатостей в десятые доли нанометра [20, 57, 75]. Для подложек простейшей формы (плоских, сферических и цилиндрических) отклонение поверхности от заданного профиля может быть выдержано с точностью порядка 3 нм (при характерных размерах подложек 1—10 см) [82]. Обзоры современных методов исследования сверхгладких поверхностей, как плоских, так и сложной формы, можно найти в работах [4, 56, 57], а также в гл. 5 настоящей книги. [Выходные данные]