ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Это означает, что при одинаковых параметрах процесса скорость осаждения вольфрама в этом случае будет в 3 раза ]меньше, чем в отсутствие кислорода. Кроме снижения скорости осаждения, присутствующий кислород вредно влияет на текстуру покрытия и его механические свойства. [Выходные данные]