ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы В общем случае процессы CVD основаны на протекании гетерогенных химических реакций в парогазовой среде, окружающей инструмент, в результате которых образуется износостойкое покрытие (рис. 3.4). Осаждение покрытий происходит в специальной печи в присутствии водорода в результате взаимодействия газообразных галогенидов типа TiCU, AICI3 с составляющими смесей - азотом при осаждении нитридов тугоплавких металлов, метаном при осаждении карбонитридов и углекислым газом при осаждении оксидов. [Выходные данные]