ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Отметим, что резонансные сенсорные головки, обладая простотой конструкции и технологичностью, обеспечивают фиксацию координат с погрешностью 0,2—0,5 мкм. Важной особенностью этих головок является возможность их миниатюризации, что необходимо при использовании их в координатно-измерительных машинах для аттестации миниатюрных изделий. Кроме того, резонансные сенсорные головки могут быть выполнены в виде сложных волноводов (включая криволинейные), расширяющих функциональные возможности измерительных средств. [Выходные данные]