ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы При двухсторонней диффузии кремния в вольфрам и действии растягивающих напряжений, возникающих в результате значительного изменения объема при образовании дисилицида, образец в конце процесса расслаивался надвое. Это приводило к образованию градиента концентраций компонентов по толщине образцов в пределах области гомогенности WSi2 и различной структуры поверхностей. Поэтому, как и при аналогичных исследованиях дисилицида молибдена [1 ], проведены исследования как внешней и внутренней поверхностей, так и поперечного разреза образцов. [Выходные данные]