ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Толщину тонких пленок целесообразно контролировать эллипсометрическим радиоволновым методом, при этом толщина тонких металлических пленок на диэлектрических подложках определяется по величине азимута, а толщина диэлектрических покрытий на металле - по величине эллиптичности отраженной СВЧ-волны. При отражении от указанных систем измеряется только один поляризационный параметр, а другой остается постоянным в пределах точности измерений. [Выходные данные]