ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы где L — продольный размер датчика (/./бпл>1); go — удельная активная либо реактивная проводимость; бпп — средняя толщина пленки; Ог —характерный геометрический размер. На рис. 2.31,6, в приведены зависимости, характеризующие чувствительность датчиков щелевого типа с прямыми электродами к синусоидальной волне при изменении отношения характерного размера датчика Ог к пространственному полупериоду волны I при относительной амплитуде волны Абпл/бпп=0,6 и различных отношениях бпл к характерному размеру Dj [117]. В случае использования подстановки 2l=vT, где v—скорость движения волны, Г —период, эти зависимости можно рассматривать как пространственно-частот-ные характеристики датчиков. Видно, что с увеличением пространственной частоты чувствительность датчиков к волне с относительной амплитудой Абпл/бпл = 0,6 падает подобно характеристике фильтра низких частот — более линейно у коаксиального датчика, чем у стержневого. Представляется возможным скорректировать характеристику последнего с помощью электрических элементов, имеющих подъем коэффициента передачи в области высоких частот. Полученные результаты справедливы как для резисторных, так и для емкостных датчиков толщины пленки. Поскольку локальность измерений с помощью таких датчиков является необходимым условием, то обобщенные пространственно-частотные характеристики позволяют корректировать результаты измерений более «коротких» волн с помощью датчика с конечным характерным размером. [Выходные данные]