ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Фокусировка излучения ЛПМ на обрабатываемый материал, который устанавливается на координатном столе XY, производится с помощью ахроматического объектива с фокусным расстоянием 100 мм (возможна установка объектива с фокусным расстоянием до 200 мм). За счет движения стола Z сфокусированное пятно излучения наводится на мишень. Перемещение осуществляется двигателем ШД-5Д1М со скоростью 0,1 мкм за один импульс (шаг). Объектив состоит из двух склеенных между собой линз. Транспортировка пучка излучения ЛПМ до рабочего объектива осуществляется оптической системой из трех поворотных плоских зеркал с коэффициентом отражения 99%. Зеркала имеют многослойное диэлектрическое покрытие (Mgp2, ZnS). Со стороны мишени, непосредственно перед объективом для его защиты от запыления продуктами разрушения материала установлена защитная тонкостенная плоскопараллельная стеклянная пластина, имеющая просветляющее покрытие (Mgp2), при котором потери составляют 0,5%. Пластина съемная и при запылении меняется на новую. Общие расчетные потери в оптическом тракте составляют 10%, но в процессе эксплуатации они могут возрастать до 30-40%. Поэтому оптические элементы необходимо регулярно чистить. Срок службы поворотных зеркал составляет не менее 2000 ч, объектива — не более 700 ч. В объективе происходило выгорание клеевого материала, что [Выходные данные]