ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы 150...200 мм в диаметре вызывает большие трудности при получении монокристаллов с равномерным распределением удельного сопротивления по радиусу и малыми остаточными термомеханическими напряжениями. При повышении мощности прибора возникают сложности с отводом тепла. [Выходные данные]