ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы СОРБЦИОННЫЙ НАСОС — вакуумный насос, основанный на ноглощении газов (сорбции) активными газопоглотителями (Ti, Zr, Ва, Mo и т. д.), непрерывно напыляемыми на стенки насоса при комнатной темн-ре или на спец. конденсаторы, охлаждаемые жидким азотом, водородом и 7. п. Образующиеся пленки поглощают большинство газов, присутствующих в вакуумных системах: N2, Oj, Hj, СО, СО и пары HjO. Связывание газов при комнатных темп-рах осуществляется за счет образования химич. соединений, хемосорбции и растворения (абсорбция, гл. обр. для водорода). При очень низких темп-рах ( —196°С) существенна физ. адсорбция газов на напыленных металлич. пленках. [Выходные данные]