ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Возрастание скорости осаждения карбида ниобия с повышением концентрации пятихлористого ниобия в газовой фазе связано с увеличением его концентрации на реакционной поверхности. Отсутствие ускорения процесса выше определенного значения концентрации хлорида объясняется достижением избытка его на поверхности, и в этом случае основную роль играет скорость процесса десорбции продуктов реакции. [Выходные данные]