ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Импульсный лазерный отжиг осуществлялся с использованием разнообразных источников и при различных длительностях импульсов. В большинстве известных к настоящему времени экспериментов имплантированные образцы отжигались прямо на воздухе, т. е. не предпринималось никаких специальных усилий для помещения подложки в инертную среду в процессе отжига. Облучаемая пучком площадь в большинстве случаев значительно больше как диффузионной длины теплопередачи в твердом теле, так и толщины подложки и поэтому процесс можно было рассматривать как одномерный. [Выходные данные]