ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Мембранно-емкостный вакуумметр представляет собой камеру, разделенную тонкой металлической мембраной на две полости. В каждой из них параллельно плоскости мембраны расположено по одному плоскому электроду, каждый из которых образует с мембраной по одному плоскому воздущному конденсатору. В одну полость вакуумметра подается газ, давление которого подлежит измерению, а в другой полости создается глубокий вакуум. Под действием разности давлений мембрана прогибается и изменяется емкость конденсаторов. Измерение малого абсолютного давления сводится таким образом к измерению электрических величин. [Выходные данные]