ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Изменяя температуру подложки и соответственно скорость миграции атомов, можно реализовать различные механизмы роста и получать различные типы структур покрытия. По глубине покрытия различают 1144] три зоны (рис. 8.7). Зона /(глубинная ) образуется при температуре процесса Г = 0,26 и отличается равновесной структурой.В зоне 2 [Выходные данные]